金刚石的耐热性好、热稳定性高，在真空中1200℃以上表面才开始出现炭化，在大气中也要在600℃以上才开始炭化，利用这一特性，制作适用于高温的热敏传感器，从常温到600℃范围内进行温度监测与控制，并且适用在高温且有腐蚀气体的恶劣环境下使用，性能稳定，使用寿命长，可用于发动机中高温测量。此外金刚石在高温下形变率很高，利用这一特性可制作高温环境下使用的振动传感器和加速度传感器。与其它材料振动膜相结合可作为高温、耐腐蚀、灵敏度高的压力传感器，用于振动检测以及发动机气缸压力等测量。